的项目题材
某大中型半导体IC芯片生产销售销售公司处于长半圆各地,其主要生产销售销售晶圆和IC芯片。在生产销售销售具体步骤中,晶圆打孔和抛光整理一阶段引起大量的粉磨液废污水,每日排放物口量约50吨。是因为废污泥里带有高含量悬浮物物、铝合金阳离子及有机的更改剂,之间排放物口会对大环境形成非常严重的污染,公司急缺建设规划职业 整理基础设施。
化工废水物质及来源地
机磨液废渣注意取决于晶圆加工制作中的物理化学机械设备磨光(CMP)程序,注意环境破坏物主要包括:
浮悬颗粒状物
:二硫化硅、硫化铝等机磨科粒,比表面积在0.1-1μm,氧化还原电位万代高达2000mg/L。
金屬铝离子
:铜、铁、锌等,来源cnc精密机械加工垫刹车盘磨损及晶圆外表面塑料层,铜阳离子氨水浓度约50mg/L。
设计修改剂
:具有表明活力性剂、脱硫剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸碱平衡性东西
:pH值波动性大,通畅在2-11之中。
补救工艺设计标准流程
共性废污水性能指标,采用了“预除理+什么是生化+深层次除理”乐队组合新工艺:
缓解池
:义均水的硬度需水量,修改强酸强碱调结pH至普通。
沥青混凝土水解
:加药PAC(缩聚氯化铝)和PAM(PP酰胺),删去透明桌面物和悬浊液,沉降后SS删去率>90%。
催化反应氧化物
:利用Fenton制剂(H₂O₂+Fe²⁺)光降解有机物增添剂,COD清除率达60%。
生物制品治理
:MBR膜海洋生物反馈器进一歩吸附剩于化合物物,COD降低100mg/L下面。
铝离子交換
:使用光敏树脂吸收铜正离子,冒水铜量<0.5mg/L。
砂滤+化学活化炭进行过滤
:为了保证留水纯净,高于《把污水综合性产生标准》(GB8978-1996)七级标准。
从而视觉效果
系统性程序运行保持稳定后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜正离子<0.3mg/L。
工业废污水处理率达40%,乘余符合标准排卸,年减低废污水排卸1.5万吨。
治理 直接费用约15元/吨,远超过企业分別。