活动历史背景
沈阳某半导体材料厂的生产步骤中一并制造高硅工业工业生活污水(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟工业工业生活污水(F⁻ 200-300mg/L)。不同工业工业生活污水混合物而后容易达成氟硅酸氢氧化铁,老式化学沉淀物法没办法不稳定性原则。投资项目需要同步软件祛除硅和氟(废气排放原则:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
废渣材质及来源地
大部分组成
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
来原
:晶圆刻蚀污废水处理工艺 、CMP打磨污废水处理工艺 、生产设备擦洗水
正确处理加工流程图
一体化石雕文化沉淀时段
:
多级生理反应池
:
独一级添加Ca(OH)₂形成CaF₂和CaSiO₃石雕文化沉淀;
第2级添加PAC(整合氯化铝)提高二沉池。
固液溶合时期
:
反渗透膜整体
:利用0.02μm孔经膜元件截流电解质溶液硅和微细析出物。
深度的脱氟步骤
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催化活性氧化物铝活性炭吸附塔
:多余氟铝离子物理吸附洗去。
结果英文效用
出水出水SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远远低于我国细则。
反渗透膜模式通量不稳在15LMH,电化学难以清理期限变长至60天。
厌氧颗粒污泥经压滤后含水分率<65%,可按通常情况固体废物救治。