该厂为84英寸晶圆工作线配备的超去离子水体统，时刻造成含硅焦化废水150吨。焦化废池中虽无高价属，但硅含锌量高易积垢，且电阻值率需要求18MΩ·cm也能回收。现有整理工学院艺不可能要求新出台的《光电化工水水污渍尾气尾气排放标准基准基准》（GB39731-2020）特别的尾气尾气排放标准基准规定值。 废气部分基本特征 关键造成的污染 ：橡胶胶体部分硅（200-300mg/L）、科粒硅（颗粒直径0.1-1μm） 层次性需求 ：TOC<10μg/L，硼占比<5μg/L 水质标准性状 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅氧化物特征僵化 治理制作工艺方法 自主创新所采用"梯级膜分割+电去铝离子"三人组合流程： 微滤预除理 ：1μm淘瓷膜截拦大粒子硅，通量稳定80LMH 化合物交互聚酯树脂 ：D201大孔硅胶粘合剂选定 性过滤硅酸碳原子 2级RO系统化 ：第1 段的回收利用率60%，二段选用高脱硼膜部件 EDI电去铝离子 ：电压体积密度2A/m²，将持续清除稳定度化合物 红外光谱灭菌 ：254nm太阳光的太阳中的紫外线线含量40mJ/cm² 科技工作亮点 搭建专业阻硅剂（设计胺类pp物），廷缓膜感染时间段3倍 EDI电源模块科技创新流道开发，硅祛除率的提升至99.8% 线下硅了解仪（在测量面积0.1-500μg/L）保证正确掌控 进行取得成效 经3、方检查： 总硅从280mg/L高于0.05mg/L 硼含量从8μg/L降低0.3μg/L 系统环保再生资源回提取率从原40%优化至68% 膜换掉时间加长至5年，年正常运作人工成本降底35%