某半导开发单位因晶圆洗掉生产工序产生含氨废水补救，发电量200吨/天。废水补救中除化学需氧量外还含带氟化物和轻微巨资属，补救等级大。位置的排放条件的要求化学需氧量＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 生活污水组成成分及主要来源 晶圆冲洗生活污水（大部分来源于）：含氯离子200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀生产工艺污水：含轻微铜、镍等血本属，pH值振幅大 CMP精磨生产废水：含硅颗粒剂及氧化还原电位 正确处理工序步奏 分为"生物学沉淀物+膜脱离+折点氯化"搭配加工制作工艺 ： 预治理 ：加药系统CaCl2除氟，掌握pH在7.5-8. 超滤膜系统性 ：清掉0.01μm左右颗粒状物 反固化提液 ：将氯离子浸提至1000mg/L往上 折点氯化 ：透彻保持氯添加量，将高锰酸盐指数转为为氢气 铁离子对换 ：安全保障高价属符合标准 终结视觉效果 氧化还原电位不稳定性＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 高价属的含量少于检侧限 水中水回用率达75% 污水发生量削减40%